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光刻掩模设计与加工制造服务
周 期:3~5个工作日
地 点:海淀区
价 格:700/pcs
本中心可以提供常规掩模与高阶掩模设计及加工制造服务,其中常规掩模尺寸为2”、2.5”、3”、4”、5”、6”、7”、8”×10”,制备的最小CD线宽为1um,误差在0.25um左右。高阶掩模制备一般使用电子束直写设备,目前可以提供的最小线宽CD为0.13um,误差在50nm以内。
服务描述

1. 光刻掩模版制备技术简介 ?

 光刻掩模版,别称“掩模版”、“光刻板”、“光罩”、“遮光罩”,一般使用玻璃或者石英表面覆盖带有图案的金属图形,实现对光线的遮挡或透过功能,是微电子光刻工艺中的一个工具或者板材。我们利用光罩可以实现微电子工艺中的图形传递。光刻掩模版的加工技术主要有两种:其一为激光直写技术;其二为电子束直写部分,两种技术区别在于光源不同,实现的精度有所区别。    

2. 我们能够提供的掩模版种类及其应用范围?

普通版 :一般使用苏打玻璃或者石英,常见2寸到10寸,线宽一般在1um以上,主要用户接触式曝光机,转移图形与版图尺寸为1:1,实现同比例的图形转移。

Stepper版:一般使用石英版,常见为5寸和6寸版,线宽一般在1um以上,主要用于Stepper曝光机台,转移图形与版图尺寸实际比例一般是4:1或者5:1,实现将版图图形缩小4~5倍之后投射于目的片上。

纳米压印版:一般用石英版,刻蚀其表面的金属形成沟槽和透光不透光的组合,尺寸一般需要5寸及以上,采用电子束直写的技术实现表面nm图形的转移,一般线宽在200~800nm左右,借助掩模版对光刻胶的压力、同时辅助紫外曝光,最终实现纳米级图形的转移。

金属掩模版:一把采用不锈钢,在不锈钢表面通过激光加工或者腐蚀的方式,实现表面镂空的图形设计,最小线宽一般要50um,能够用于电子束蒸发中,用于电极图形的转移。

3. 平台光刻掩模版加工等级划分、参数、参考报价及交付周期?

本中心可以提供常规掩模与高阶掩模设计及加工制造服务,其中常规掩模尺寸为2”、2.5”、3”、4”、5”、6”、7”、8”×10”,制备的最小CD线宽为1um,误差在0.25um左右。高阶掩模制备一般使用电子束直写设备,目前可以提供的最小线宽CD为0.13um,误差在50nm以内。

光刻掩模版的评价参数主要有版图尺寸、材质、CD线宽、精度、遮光类型、加工技术、参考报价、交付周期,根据客户的不同使用情况我们会推荐最合适的版图。具体等级划分及相关参数如下:

等级

CD线宽

版图尺寸

材质

CD线宽

CD精度

套准

加工技术

参考报价

 A1

>10.0 um

2.5寸或3

苏打

>10.0 um

0.5 um

0.5um

国产激光直写

600/pcs

 A2

>10.0 um

5

苏打

>10.0 um

0.5 um

0.5um

国产激光直写

1500/pcs

 B1

>2.0 um

2.5寸或3

苏打

>2.0 um

0.5 um

0.3 um

精密激光直写

700/pcs

 B2

>2.0 um

5

苏打

>2.0 um

0.5 um

0.3 um

精密激光直写

2000/pcs

 B3

>2.0 um

5

苏打

>2.0 um

0.3 um

0.3 um

精密激光直写

2500/pcs

 B4

>2.0 um

5

石英

>2.0 um

0.2 um

0.3 um

精密激光直写

3500/pcs

 C1

>1.5 um

5

苏打

>1.5

0.5 um

0.3 um

精密激光直写

2500/pcs

 C2

>1.5 um

5

石英

>1.5

0.2 um

0.3 um

精密激光直写

4000/pcs

 D1

>1.0 um

5

石英

>1.0 um

0.20 um

0.2 um

精密激光直写

6000/pcs

 D2

>1.0 um

5

石英

>1.0 um

0.15 um

0.2 um

精密激光直写

8000/pcs

 D3

>1.0 um

5

石英

>1.0 um

0.07 um

0.2 um

精密激光直写

10000/pcs

 E

>0.5 um

6寸(贴膜)

石英

>0.5 um

0.03 um

0.12 um

电子束直写

30000/pcs

 F

>0.25 um

6寸(贴膜)

石英

>0.25 um

0.02 um

0.07 um

电子束直写

70,000/pcs

 注意:

1. 光刻板报价按照CD线宽等级、版图尺寸、版图材质、CD线宽精度、使用设备等不同报价不同。


2. 5寸石英版或者苏打玻璃版可以通过划切做成4块小版,加工费+500/次;


3. 关于版图中的线条图形,图形如果低于一半面积为圆形或者圆弧且直径为1.5um以内,原有价格*1.5倍;高于一半面积为圆形和圆弧,且直径为1.5um以内,原有价格*2倍。


4. 关于客户设计咨询,对于客户需要我们辅助做设计或者制备版图,原有价格*1.5倍,比较复杂*2倍。


5. 制版流程: 客户提交需求并发版图-->版图评估给予报价-->确认制版并付款-->版图交付。


6. 关于加急服务:常规周期为7个工作日交付

若加急服务,<3天(原有价格*1.5倍);1天(原有价格*3);


4. 光刻掩模版加工工艺介绍

         

     

    5. 掩模版相关设备介绍:

 

1. 电子束直写 Vector Scan(莱卡)

技术参数与能力:

 工作电压:50kV

 电流密度:10 A/cm2

 扫描区域:150 mm*150mm

 套刻精度:12 nm(3ơ)

 条宽均匀:13 nm(3ơ)

 版图尺寸:只可以制作6025的石英版掩模

 最小条宽:90 nm+-12 nm

 

 

2. 激光束直写(美国) Raster Scan

技术参数与能力:

 扫描区域:150 mm*150mm

 套刻精度:12 nm(3ơ)

 条宽均匀:15 nm(3ơ)

 版图尺寸:6025、6012、5009的石英版掩模版

 最小条宽:0.8 um+-50nm

 

 

3. 无掩膜激光直写光刻机

技术参数与能力:

 最小条宽:0.8 um+-50nm

 工作波长:405 nm

 分辨率:0.8 um 

 条宽均匀度:150 nm(3ơ)

 套刻精度:150 nm

 版图尺寸:4~9寸石英、苏打玻璃掩模版、3~8寸硅片

 

4. 多腔室电感耦合等离子体刻蚀机ICP

技术参数与能力:

刻蚀:Cl基刻蚀腔:刻蚀Cr (已开发)

  F基刻蚀腔: 刻蚀MoSiX (已开发)

  样品尺寸:5寸、6寸

  刻蚀SiO2、SiNx、Cr等金属的刻蚀

            


用户服务:

1.关于用户需求:

         如果您是一名硕博生,做工艺或开发新器件,需要用到光刻掩模版,L-Edit设计版图之后,苦于没有太多时间联系加工或对制版业务不太熟悉,那么联系我们吧。我们可以代您执行下列事情:

       检查版图、联系加工、取版、上门送版、费用结算.

       您专注于设计和新结构开发,做高大上的研究工作,把时间用在刀刃上,而我们来执行具体的、琐碎的事情,从而可以为您:

    (1)节省您的时间:只需要您设计好版图提交给我们,我们会以最高效率、最快时间完成你的设计,将版子送到你的办公室或指定地点。

    (2)检查设计,加工之前进行预先检查,从而排除可能出现的问题。

2. 我们的服务:


(1)更高效、更全面满足需求:负责多家制版加工中心的统

筹、调度工作,从而能够满足多种规格、同时能够更高效率的利用资源。

(2)加工之前的预先检查和加工后的核对:避免出现设计上的缺陷和问题,从而节省科研工作者的时间和因重复制版造成财力的浪费。

(3)部分地区上门派送:北京地区、长三角地区(苏州、上海)可上门派送,其他地区可以顺丰快递,这样节省了客户花在路上的取版时间。

4)设计指导:如果您不熟悉掩模版的绘制,只需要提交草图或书面说明即可,我们帮你解决其他一切事情。

5)财务结算上,我们以尽量简洁的方式进行,可分进行单次结算和每月结算。

3.制版流程:

(1)发送光刻版L-Edit图及Word版光刻版制版说明到Labideas@sina.com。

   1-光刻版L-Edit图应该铺满全版。

 2-光刻版说明中应该包含

     制版人信息:姓名-单位-联系方式-配送地址

     光刻版的制版事项:尺寸,透光情况,精度要求。

(2)等待接收光刻版即可。

(3)我们在制版期间发现问题会通过电话或邮件与您进行沟通确认。

(4)交付工期,我们分为加急和普通两类。

     一般加急件当天可以制版完成,第二天客户可以收到光刻版。

     而对于普通件,一般工期为3~5天内收到光刻版。

     对于一些特殊精度要求的版图,可能需要更长的时间,我们一起协商工期的问题。

4. 关于结算:

我们分为每次结算和每月结算,其中:

  (1)对于偶然有制版需求的用户,可以在收到发票之后直接现金支付或支付宝转账支付,根据协商来灵活进行支付即可。

  (2)对于经常性有制版需求的用户,可以申请为月结算用户,每月进行结算一次。我们会有专人负责联系您,每月20号~25号为您寄送发票和制版清单进行结算。

5.关于售后

     如果客户发现光刻版的质量或其他任何问题,均可以通过Labideas售后服务电话18518552906或邮件labideas@sina.com联系我们,我们会第一时间无条件的为客户解决问题,快速决定是否做返工处理。

6.沟通互动:

我们想将制版服务做到极致,非常欢迎来自您最真实的声音,这样我们会更清楚的认识到现在存在问题以及未来的解决方案,如果您通过我们的平台制版,每次结束后您可以发送一封关于制版的任何方面的反馈信到:labideas@sina.com. 作为对您的珍贵意见和建议的酬谢,我们非常乐意并会精心的准备一份小礼品快递给你。记得不要吝惜赐教啊!!!

目前赠品可选:

(1)小米手环-记录您的行程

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赠品2:雀巢咖啡(30包装)-我们知道您科研需要添加兴奋剂

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