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原子级平整度STO(钛酸锶)晶片加工定制服务
周 期:7个工作日
地 点:
价 格:350.00/片
原子级表面平整度STO(钛酸锶)晶片加工定制服务
服务描述

1. 我们针对STO晶片的表面处理技术水平?

    我们可以为生长二维材料、超导薄膜及多种氧化物薄膜材料的科研工作者提供最平坦的STO衬底,粗糙度可以达到0.1nm以下的水平,目前传统的技术是通过化学机械抛光(CMP)、高温退火和低浓度的酸刻蚀,我们已经掌握了相关的技术,通过独特的处理,可以将成功率提升到80%以上,比目前市面上的处理方法良率提高3倍以上,大大节省了时间,并降低了成本,因此,我们可以以最快的速度、最低的成本、提供最高质量的STO衬底,所有的STO基础材料取材于国外,而表面处理工艺全部在国内完成。

具有单一终止层(TiO2层)的SrTiO3表面

通过CMP和化学方法处理过的STO表面

 

2. STO目前的重要用途?

    钛酸锶(SrTiO3)是当前应用最广的优秀高温超导单晶基片之一。由于SrTiO3单晶衬底与多种钙钛矿结构材料的晶格匹配度较好,利用多种制膜技术(如磁控溅射,脉冲激光沉积,激光分子束外延等)可在SrTiO3单晶衬底上外延生长高温超导薄膜及多种氧化物薄膜。  

    SrTiO3001)是由TiO2层和SrO层交错堆垛而成,两种终止面在STO表面上共存,并且表面能几乎相同,因此由切割或者解离得到的SrTiO3表面含有等量的TiO2SrO原子,两者高度相差半个晶胞。 对于后续二维异质结的形成,衬底表面的状态及平整度是非常重要的,因此获得单一的终止层是外延生长出高质量的薄膜的必要条件。此外,获得宏观尺度上原子级平整的单晶薄膜是研究二维宏观电子性质的前提条件,因此获得台阶有序、具有单一钛氧面(TiO2)终止的原子级平整表面的钛酸锶SrTiO3(001)衬底显得尤为重要。

 

3. 目前可以提供的定制化产品规格、尺寸及参考报价

晶片种类

    尺寸

 表面处理

 平整度等级

 晶体取向

   参考价

  STO

 5mm*5mm

   否

    0.5 nm

  可选

   250

  STO

 5mm*5mm

   是

    0.1 nm

  可选

   350

  STO

 10mm*10mm

   是

    0.1 nm

  可选

   1400

  STO

 15mm*15mm

   是

    0.1 nm

  可选

   3150

对于提供的晶片包含AFM图,测试三个点,给出粗糙度数据。

    交货周期<2

 

 4. 委托定制流程

  (1)用户需求确认:告知平台待购买的STO衬底参数,包括尺寸、表面是否处理、要求的平整度等级、衬底晶体取向;

  (2)通过平台直接提交需求即可。

  (3) 平台出具方案及报价。

  (4) 用户付款并安排加工。

  (5) 交付用户并验收。

  (6) 后续服务流程。

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